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GB4298-1984 GB 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

标准编号:GB 4298-1984 时间:1984-03-28 大小:KB 浏览次数:62 下载次数:25
资料名称: GB4298-1984 GB 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
标准类别: 国家标准
语  言: 简体中文
文件类型: .rar
整理时间: 1984-03-28
等  级:
标准状态: (仅供参考)
作废日期: (仅供参考)
实施日期: 1985-03-01(仅供参考)
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标准简介: GB 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法 国家标准(GB) GB4298-1984 本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质素和非金属杂质素含量的测定。本标准包括杂质素(十六个)的反应堆中子活化仪器分析方法、铜和砷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、磷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、氧的α粒子活化仪器分析方法和碳的氘子活化仪器分析方法。

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标准编号: GB 4298-1984 正在载入地址
标准名称: 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
英文名称: The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials(仅供参考)
替代情况: (仅供参考)
采标情况: (仅供参考)
发布部门: 国家标准局(仅供参考)
页  数: 18页(仅供参考)
首发日期: 1984-03-28(仅供参考)
复审日期: 2004-10-14(仅供参考)
提出单位: 有色金属总公司(仅供参考)
归口单位: 中国有色金属工业协会(仅供参考)
主管部门: 中国有色金属工业协会(仅供参考)
起草单位: 有色金属研究总院(仅供参考)
相关标准: 无相关信息
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