GB/T14139-1993 GB/T 14139-1993 硅外延片
标准编号:GB/T 14139-1993 时间:1993-02-06 大小:KB 浏览次数:78 下载次数:30资料名称: | GB/T14139-1993 GB/T 14139-1993 硅外延片 |
标准类别: | 国家标准 | ||
语 言: | 简体中文 | ||
文件类型: | .rar | ||
整理时间: | 1993-02-06 | ||
等 级: | |||
标准状态: | (仅供参考) | ||
作废日期: | (仅供参考) | ||
实施日期: | 1993-10-01(仅供参考) | ||
授权方式: | 免费下载 | ||
下载方式: | 直接下载 | ||
浏览次数: | 78次 |
标准简介: | GB/T 14139-1993 硅外延片 国家标准(GB) GB/T14139-1993 本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N+)和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P+)的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件。 标准压缩包解压密码:www.51zbz.com |
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标准编号: | GB/T 14139-1993 正在载入地址 | |
标准名称: | 硅外延片 | |
英文名称: | Silicon epitaxial wafers(仅供参考) | |
替代情况: | (仅供参考) | |
采标情况: | SEMI S2,REF(仅供参考) | |
发布部门: | 国家技术监督局(仅供参考) | |
页 数: | 平装16开, 页数:8, 字数:11千字(仅供参考) | |
首发日期: | 1993-02-06(仅供参考) | |
复审日期: | 2004-10-14(仅供参考) | |
提出单位: | (仅供参考) | |
归口单位: | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考) | |
主管部门: | 国家标准化管理委员会(仅供参考) | |
起草单位: | 上海第二冶炼厂(仅供参考) | |
相关标准: | ||
下载次数: | 30次 |
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