GB4298-1984 GB 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
标准编号：GB 4298-1984 时间：1984-03-28 大小：KB 浏览次数：62 下载次数：25| 资料名称： | GB4298-1984 GB 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法 | |
| 标准类别： | 国家标准 | ||
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 文件类型： | .rar | ||
| 整理时间： | 1984-03-28 | ||
| 等 级： |  |
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| 标准状态： | （仅供参考） | ||
| 作废日期： | （仅供参考） | ||
| 实施日期： | 1985-03-01（仅供参考） | ||
| 授权方式： | 免费下载 | ||
| 下载方式： | 直接下载 | ||
| 浏览次数： | 62次 |
| 标准简介： | GB 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法 国家标准(GB) GB4298-1984 本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质素和非金属杂质素含量的测定。本标准包括杂质素（十六个）的反应堆中子活化仪器分析方法、铜和砷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、磷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、氧的α粒子活化仪器分析方法和碳的氘子活化仪器分析方法。 标准压缩包解压密码：www.51zbz.com |
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| 标准编号： | GB 4298-1984 正在载入地址 | |
| 标准名称： | 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法 | |
| 英文名称： | The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials（仅供参考） | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | （仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家标准局（仅供参考） | |
| 页 数： | 18页（仅供参考） | |
| 首发日期： | 1984-03-28（仅供参考） | |
| 复审日期： | 2004-10-14（仅供参考） | |
| 提出单位： | 有色金属总公司（仅供参考） | |
| 归口单位： | 中国有色金属工业协会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 中国有色金属工业协会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 有色金属研究总院（仅供参考） | |
| 相关标准： | 无相关信息 | |
| 下载次数： | 25次 | |
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