GB/T19922-2005 GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法
标准编号：GB/T 19922-2005 时间：2005-09-19 大小：KB 浏览次数：94 下载次数：16| 资料名称： | GB/T19922-2005 GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 | |
| 标准类别： | 国家标准 | ||
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 文件类型： | .rar | ||
| 整理时间： | 2005-09-19 | ||
| 等 级： |  |
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| 标准状态： | （仅供参考） | ||
| 作废日期： | （仅供参考） | ||
| 实施日期： | 2006-04-01（仅供参考） | ||
| 授权方式： | 免费下载 | ||
| 下载方式： | 直接下载 | ||
| 浏览次数： | 94次 |
| 标准简介： | GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 国家标准(GB) GB/T19922-2005 本标准规定了用电容位移传感法测定硅片表面局部平整度的方法。本标准适用于无接触、非破坏性地测量干燥、洁净的半导体硅片表面的局部平整度。适用于直径100mm及以上、厚度250μm及以上腐蚀、抛光及外延硅片。 标准压缩包解压密码：www.51zbz.com |
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| 标准编号： | GB/T 19922-2005 正在载入地址 | |
| 标准名称： | 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 | |
| 英文名称： | Standard test methods for measuring site flatness on silicon wafers by noncontact scanning（仅供参考） | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | ASTM F1530-1994 MOD（仅供参考） | |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 页 数： | 16开， 页数：9， 字数：14千字（仅供参考） | |
| 首发日期： | 2005-09-19（仅供参考） | |
| 复审日期： | （仅供参考） | |
| 提出单位： | 中国有色金属工业协会（仅供参考） | |
| 归口单位： | 信息产业部（电子）（仅供参考） | |
| 主管部门： | 信息产业部（电子）（仅供参考） | |
| 起草单位： | 洛阳单晶硅有限责任公司（仅供参考） | |
| 相关标准： | 无相关信息 | |
| 下载次数： | 16次 | |
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