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GB/T13389-1992 GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

标准编号:GB/T 13389-1992 时间:1992-02-19 大小:KB 浏览次数:298 下载次数:162
资料名称: GB/T13389-1992 GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
标准类别: 国家标准
语  言: 简体中文
文件类型: .rar
整理时间: 1992-02-19
等  级:
标准状态: (仅供参考)
作废日期: (仅供参考)
实施日期: 1992-10-01(仅供参考)
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标准简介: GB/T 13389-1992 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程 国家标准(GB) GB/T13389-1992 本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。本标准适用于掺杂剂浓度1012~1021cm-3(电阻率0.0001~10,000Ω·cm)掺硼硅单晶和1012~5×1020cm-3(电阻率0.0002~4,000Ω·cm)掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算,也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。

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标准编号: GB/T 13389-1992 正在载入地址
标准名称: 掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程
英文名称: Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon(仅供参考)
替代情况: (仅供参考)
采标情况: =ASTM F723(仅供参考)
发布部门: 国家技术监督局(仅供参考)
页  数: 平装16开, 页数:19, 字数:34000(仅供参考)
首发日期: 1992-02-19(仅供参考)
复审日期: 2004-10-14(仅供参考)
提出单位: (仅供参考)
归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(仅供参考)
主管部门: 国家标准化管理委员会(仅供参考)
起草单位: 峨嵋半导体材料研究所(仅供参考)
相关标准: 无相关信息
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