GB/T17874-1999 GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼
标准编号：GB/T 17874-1999 时间：1999-09-01 大小：KB 浏览次数：75 下载次数：27| 资料名称： | GB/T17874-1999 GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼 | |
| 标准类别： | 国家标准 | ||
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 文件类型： | .rar | ||
| 整理时间： | 1999-09-01 | ||
| 等 级： |  |
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| 标准状态： | （仅供参考） | ||
| 作废日期： | （仅供参考） | ||
| 实施日期： | 2000-06-01（仅供参考） | ||
| 授权方式： | 免费下载 | ||
| 下载方式： | 直接下载 | ||
| 浏览次数： | 75次 |
| 标准简介： | GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼 国家标准(GB) GB/T17874-1999 本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。 标准压缩包解压密码：www.51zbz.com |
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| 标准编号： | GB/T 17874-1999 正在载入地址 | |
| 标准名称： | 电子工业用气体 三氯化硼 | |
| 英文名称： | Gases for electronic industry--Boron trichloride（仅供参考） | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | （仅供参考） | |
| 发布部门： | 国家质量技术监督局（仅供参考） | |
| 页 数： | 平装16开， 页数：8， 字数：11千字（仅供参考） | |
| 首发日期： | 1999-09-16（仅供参考） | |
| 复审日期： | 2004-10-14（仅供参考） | |
| 提出单位： | （仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 光明化工研究设计院（仅供参考） | |
| 相关标准： | ||
| 下载次数： | 27次 | |
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