GB/T18867-2002 GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫
标准编号：GB/T 18867-2002 时间：2002-10-15 大小：KB 浏览次数：235 下载次数：144| 资料名称： | GB/T18867-2002 GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫 | |
| 标准类别： | 国家标准 | ||
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 文件类型： | .rar | ||
| 整理时间： | 2002-10-15 | ||
| 等 级： |  |
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| 标准状态： | （仅供参考） | ||
| 作废日期： | （仅供参考） | ||
| 实施日期： | 2003-04-01（仅供参考） | ||
| 授权方式： | 免费下载 | ||
| 下载方式： | 直接下载 | ||
| 浏览次数： | 235次 |
| 标准简介： | GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫 国家标准(GB) GB/T18867-2002 本标准规定了电子工业用气体六氟化硫产品的技术要求、分析方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于硫与氟反应生成经精制和纯化制备的高纯度六氟化硫。该产品主要用作等离子蚀刻剂、掺杂剂、电子器件的外延气或稀释载气等。 标准压缩包解压密码：www.51zbz.com |
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| 标准编号： | GB/T 18867-2002 正在载入地址 | |
| 标准名称： | 电子工业用气体 六氟化硫 | |
| 英文名称： | Gases for electronic industry--Sulfur hexafluoride（仅供参考） | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | NEQ SEMI C3.24:1995（仅供参考） | |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局（仅供参考） | |
| 页 数： | 平装16开， 页数：9， 字数：16千字（仅供参考） | |
| 首发日期： | 2002-10-15（仅供参考） | |
| 复审日期： | 2004-10-14（仅供参考） | |
| 提出单位： | 原国家石油和化学工业局（仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 中核红华特种气体股份有限公司（仅供参考） | |
| 相关标准： |
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| 下载次数： | 144次 | |
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