GB/T18994-2003 GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯
标准编号：GB/T 18994-2003 时间：2003-03-05 大小：KB 浏览次数：139 下载次数：50| 资料名称： | GB/T18994-2003 GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯 | |
| 标准类别： | 国家标准 | ||
| 语 言： | 简体中文 | ||
| 文件类型： | .rar | ||
| 整理时间： | 2003-03-05 | ||
| 等 级： |  |
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| 标准状态： | （仅供参考） | ||
| 作废日期： | （仅供参考） | ||
| 实施日期： | 2003-08-01（仅供参考） | ||
| 授权方式： | 免费下载 | ||
| 下载方式： | 直接下载 | ||
| 浏览次数： | 139次 |
| 标准简介： | GB/T 18994-2003 电子工业用气体 高纯氯 国家标准(GB) GB/T18994-2003 本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料，采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域。 标准压缩包解压密码：www.51zbz.com |
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| 标准编号： | GB/T 18994-2003 正在载入地址 | |
| 标准名称： | 电子工业用气体 高纯氯 | |
| 英文名称： | Gases for electronic industry—High purity chlorine（仅供参考） | |
| 替代情况： | （仅供参考） | |
| 采标情况： | SEMI C3.32-1995,NEQ（仅供参考） | |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局（仅供参考） | |
| 页 数： | 平装16开， 页数：7， 字数：13千字（仅供参考） | |
| 首发日期： | 2003-03-05（仅供参考） | |
| 复审日期： | 2004-10-14（仅供参考） | |
| 提出单位： | 原化学工业部（仅供参考） | |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（仅供参考） | |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会（仅供参考） | |
| 起草单位： | 光明化工研究设计院（仅供参考） | |
| 相关标准： | ||
| 下载次数： | 50次 | |
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